[发明专利]有机金属化合物的供给装置无效
| 申请号： | 200780022492.2 | 申请日： | 2007-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN101472815A | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 野口英贵;石地浩二;平塚彻;药师神启孝;松重健二;吉富晋 | 申请（专利权）人： | 宇部兴产株式会社 |
| 主分类号： | B65G53/22 | 分类号： | B65G53/22;H01L21/205;B01J4/00;C23C16/448 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王 旭 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种供给装置，所述供给装置具有两个柱状容器(1，1′)以及连通管(5)，所述连通管(5)用于将所述容器(1，1′)的内部在下端相互连接。所述容器(1，1′)填充有在室温下为固态的有机金属化合物。所述容器(1)的上部配备有用于将载气引入到容器(1)中的气体进料管(2)。所述容器(1′)的上部配备有用于排出含有所述有机金属化合物的所述载气的气体排出管(3)。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 金属 化合物 供给 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种用于供给有机金属化合物的装置，所述装置包括：第一柱状容器和第二柱状容器，所述第一柱状容器和第二柱状容器填充有在室温下为固态的有机金属化合物；以及连接构件，所述连接构件用于将所述第一容器和第二容器的内部在下端相互连接；其中所述第一容器的上部装备有用于载气的入口，并且所述第二容器的上部装备有用于含有所述有机金属化合物的载气的出口。
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