[发明专利]反射镜的制造装置及其制造方法有效
| 申请号： | 200780024816.6 | 申请日： | 2007-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN101484830A | 公开（公告）日： | 2009-07-15 |
| 发明（设计）人： | 饭岛正行;小林洋介;平山浩二;桥本雄介;浜田龙二;桃野健;中塚笃 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | G02B5/10 | 分类号： | G02B5/10;C23C14/56;F21S8/10;F21V7/00;F21V17/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 何腾云 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供实现简化工序和缩短作业时间的反射镜的制造装置及其制造方法。构成成膜装置(1)，把反射膜成膜用的金属蒸发源(22)、着色膜成膜用的色素蒸发源(23)、保护膜成膜用的等离子聚合源(电极)(24)配置在一个真空处理室(5)内。另外，通过在共同的真空处理室(5)内进行反射膜的形成工序、着色膜的形成工序和保护膜的形成工序，在实现简化工序的同时缩短作业时间。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 制造 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种反射镜的制造装置，该反射镜在基体表面上按规定顺序成膜反射膜、着色膜及保护膜而成，其特征在于，反射膜成膜用的金属膜形成机构、着色膜成膜用的色素膜形成机构和保护膜成膜用的保护膜形成机构配置在一个真空处理室内。
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