[发明专利]用来处理高纯度材料的系统和方法无效
| 申请号： | 200780027124.7 | 申请日： | 2007-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN101489724A | 公开（公告）日： | 2009-07-22 |
| 发明（设计）人： | 大卫·凯迪耶利;托德·格雷夫斯;杨瑞龙 | 申请（专利权）人： | 迅捷公司 |
| 主分类号： | B24B57/00 | 分类号： | B24B57/00;B24B37/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示用来处理高纯度材料的系统和方法。单元操作处理材料流，该单位操作的操作参数被监测，而备用单元被充以增压气体以达到系统压力。材料流响应记录门限值的单元操作的操作参数被转移到备用单元。在增压气体已被净化之后，离开备用单元的流动首先经由出口被放出，然后被引向使用点。然后，该单元操作可能被维护，随后被恢复联机。第二单元操作可能同时处理第二材料流，而且第二材料流可能以相似的方式被定期地转移到备用单元，借此减少管线压力变化。所揭示的方法可能是通过手操作完成的或者是通过使用控制器自动实现的。 | ||
| 搜索关键词： | 用来 处理 纯度 材料 系统 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种处理高纯度材料的方法，该方法包括下列行为：将第一材料的流动引进第一单元操作；监测第一单元操作的操作参数；用增压气体充满第二单元操作；清除来自第二单元操作的增压气体；以及响应记录门限值的第一单元操作的操作参数将第一材料的流动转移到第二单元操作。
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