[发明专利]带有管中的加热器的负载锁定室有效
| 申请号： | 200780028318.9 | 申请日： | 2007-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN101495829A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | S·安瓦尔;李皆淳;S·栗田 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B3/30 | 分类号： | F26B3/30 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆 嘉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明的实施例包含经加热的负载锁定室。在一实施例中，经加热的负载锁定室包含腔体主体，其具有多个灯组件，这些灯组件至少部份地位于腔体主体中。每个灯组件包含可罩住一灯的传导管件。该传导管件延伸进入该腔体主体中，并提供一压力阻障以将该灯与该腔体主体的内部体积隔离开。在另一实施例中，该传导管件的开口端延伸穿过该腔体主体的侧壁。该传导管件的封闭端是由该腔体主体的内部体积包围的，且在该腔体主体的顶部下方按间隔的关系被支撑着。该管件的开口端被密封至该腔体主体的侧壁，使得该管件的内部朝向大气打开。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 中的 加热器 负载 锁定 | ||
【主权项】：
1.一种经加热的负载锁定室，包含：腔体主体，具有一内部体积与至少二个基板存取口；以及多个灯组件，至少部分地延伸进入该腔体主体的内部体积中，其中每个灯组件更包含：灯；以及传导管件，延伸进入该腔体主体的内部体积中，并提供一压力阻障以将该灯与该腔体主体的内部体积隔离开。
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