[发明专利]探针板的平行度调整机构有效
| 申请号： | 200780028610.0 | 申请日： | 2007-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN101496156A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 山田佳男;中山浩志;长屋光浩;井沼毅;赤尾崇 | 申请（专利权）人： | 日本发条株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;G01R31/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种即使探针板的安装基准面和作为检查对象的晶片的表面失去平行度，也能够使该探针板保持的探针相对于晶片同样地进行接触的探针板的平行度调整机构。为了该目的，设有构成倾斜度变更机构的至少一部分的调整螺钉(22)，所述倾斜度变更机构用于对保持多个探针(1)的探针板(101)相对于晶片(31)的平行度进行调整，从而变更探针板(101)相对于安装探针板(101)的探测器(201)的安装基准面(S1)的倾斜度，所述探针(1)将作为检查对象的晶片(31)和生成检查用的信号的电路构造之间电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 平行 调整 机构 | ||
【主权项】：
1.一种探针板的平行度调整机构，其具有保持多个探针的探针板和安装所述探针板的探测器，并调整所述探针板相对于所述晶片的平行度，所述探针将作为检查对象的晶片和生成检查用的信号的电路构造之间电连接，所述探针板的平行度调整机构的特征在于，具备倾斜度变更机构，该倾斜度变更机构相对于所述探针板向所述探测器安装的安装基准面变更所述探针板的倾斜度。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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