[发明专利]用于转移侧对接式测试机械手中测试盘的方法有效
| 申请号： | 200780031114.0 | 申请日： | 2007-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN101506674A | 公开（公告）日： | 2009-08-12 |
| 发明（设计）人： | 沈载均;罗闰成;全寅九;具泰兴;金动汉 | 申请（专利权）人： | 泰克元有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 谢顺星 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于转移侧对接式测试机械手中测试盘的方法，根据本发明的方法，将加载后测试盘的姿势改变为垂直姿势，并将测试盘转移到测试腔室，将垂直姿势的三个测试盘竖直排列在三行上，从而加载在三个测试盘上的半导体器件能够被同时测试，因此增加了同一时间可以测试的半导体器件的数量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 转移 对接 测试 机械 手中 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于转移侧对接式测试机械手中测试盘的方法，该方法包括步骤：(a)在测试盘装载半导体器件后，将水平姿势的测试盘从加载单元经由保温腔室转移到测试腔室，其中在转移时在某点将测试盘的水平姿势改变为垂直姿势；(b)将步骤(a)中顺序转移到测试腔室的三个测试盘竖直排列到三行上；(c)将步骤(b)中竖直排列到三行上的三个测试盘转移到测试位置；(d)在对加载在三个测试盘上的半导体器件测试完成后，将三个测试盘中的每一个从测试腔室经由常温腔室转移到卸载单元，其中在转移时在某点将测试盘的垂直姿势改变为水平姿势；及(e)将步骤(d)中转移到卸载单元的每个测试盘上的半导体器件卸载后，将所述测试盘转移到加载单元。
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