[发明专利]制备涂覆有氧化锌的制品的低温方法有效
申请号: | 200780033075.8 | 申请日: | 2007-05-03 |
公开(公告)号: | CN101512043A | 公开(公告)日: | 2009-08-19 |
发明(设计)人: | M·B·阿布拉姆斯;R·Y·科罗特科夫;G·S·西尔弗曼;R·史密斯;J·L·斯特里克 | 申请(专利权)人: | 皮尔金顿集团有限公司;阿肯马公司 |
主分类号: | C23C16/40 | 分类号: | C23C16/40;C03C17/245;C23C16/453 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 段晓玲;韦欣华 |
地址: | 英国默*** | 国省代码: | 英国;GB |
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摘要: | 制备涂覆有氧化锌的玻璃制品的大气压化学气相沉积法,通过将气态反应物流,具体地讲含锌化合物,和含氧化合物的一股或多股物流,引导到透明基材材料的表面上而制备,所述材料被加热至4000℃或更低的温度。 | ||
搜索关键词: | 制备 涂覆有 氧化锌 制品 低温 方法 | ||
【主权项】:
1. 制备涂覆有低电阻率氧化锌的透明制品的方法,其包括:提供具有待在其上施加涂层的表面的透明基材,所述表面的温度为400℃或更低;以及将含锌化合物和一种或多种含氧化合物引导到待在其上沉积所述涂层的所述表面,所述含锌化合物和氧源混合足够短的时间,使得氧化锌涂层以至少5nm/秒的沉积速率在所述表面上形成。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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