[发明专利]使用公知的方法创建制法的方法和装置有效
| 申请号： | 200780035890.8 | 申请日： | 2007-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN101517705B | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | 黄中和;范世军;常晨川;尼古拉斯·布莱特 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | G06N5/02 | 分类号： | G06N5/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 周文强;李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种影响处理系统中处理基片的制法的创建的方法。该方法包括提供最佳公知方法驱动制法编辑器。该最佳公知方法驱动制法编辑器结合多种最佳公知方法(BKMs)，其是用于该制法的最优方法规范。该方法还包括基于用于该制法的BKMs创建多个BKM模块。此外，该方法还包括使用该BKM驱动制法编辑器以在BKM规则的准则内为参数输入值而创建BKM驱动制法。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 方法 创建 制法 装置 | ||
【主权项】：
一种促进至少一个处理系统中处理至少一个基片的至少一个制法的创建的方法，该方法包含：提供制法编辑器，所述制法编辑器结合多种最佳公知方法(BKMs)，所述BKMs是用于该制法的方法规范；基于所述用于该制法的BKMs创建多个BKM模块，其中所述多个BKM模块中的每个BKM模块相关于处理所述基片的一个处理阶段并包括所述制法的多个制法步骤；定义所述多个BKM模块中参数的规则；使用所述制法编辑器，将由用户传播的参数值转换为升级的规则，所述由用户传播的参数值由第一用户在所述处理系统和所述多个BMK模块的至少一个中传播；使用所述升级的规则产生至少一个升级的BKM模块；以及至少向第二用户使用的第二处理系统提供所述升级的BKM模块。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于朗姆研究公司，未经朗姆研究公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200780035890.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
