[发明专利]生产三氯硅烷的方法有效
申请号: | 200780039590.7 | 申请日: | 2007-10-12 |
公开(公告)号: | CN101528598A | 公开(公告)日: | 2009-09-09 |
发明(设计)人: | B·普夫卢格勒;R·林 | 申请(专利权)人: | 瓦克化学股份公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 过晓东 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种方法,其中含四氯硅烷进料气体与含氢进料气体在900-1300℃的温度下反应。得到含三氯硅烷产物混合物。该方法的特征在于所述反应是在这些反应气体的超临界压力下进行的。 | ||
搜索关键词: | 生产 硅烷 方法 | ||
【主权项】:
1.一种方法,其中含四氯硅烷的进料气体与含氢的进料气体在900-1300℃的温度下反应形成含三氯硅烷产物混合物,其特征在于,所述反应是在这些进料气体的超临界压力下进行的。
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