[发明专利]基板收纳容器

摘要

提供一种能够使对于基板的保持件的接触区域减少、将基板的污染减少等的基板收纳容器。一种基板收纳容器，在能够整列收纳多张半导体晶片(W)的容器本体(10)和盖体(20)之间，夹有保持半导体晶片(W)的保持件(30)，其中保持件(30)包含：可挠性的多个弹性片(31)，从盖体(20)的顶板内表面向收纳于容器本体(10)中的半导体晶片(W)方向伸长，在多张半导体晶片(W)的整列方向上并排；以及保持槽片(34)，形成在各弹性片(31)的顶端部，接触保持半导体晶片(W)的周缘部。使弹性片(31)和保持槽片(34)随着从盖体(20)的顶板内表面侧向着半导体晶片(W)方向而渐渐弯曲而朝向半导体晶片(W)的半径外方向外侧，使对于半导体晶片(W)周缘部上端的保持槽片(34)的接触保持区域减少。

主权项

1. 一种基板收纳容器，在能够整列收纳多张基板的容器本体和其盖体之间，夹有保持基板的保持件，其特征在于，保持件包含：可挠性的多个弹性片，从盖体的内侧向收纳于容器本体中的基板方向延伸、沿多张基板的整列方向排列；以及保持槽片，形成在弹性片上，接触保持基板的周缘部，使这些弹性片和保持槽片随着从盖体的内侧向着基板方向而渐渐弯曲而朝向基板的宽度方向外侧，使对于基板周缘部的保持槽片的接触保持区域减少。