[发明专利]固体成像元件用覆盖玻璃及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200780045536.3 申请日: 2007-12-26
公开(公告)号: CN101553926A 公开(公告)日: 2009-10-07
发明(设计)人: 中堀宏亮;大川大介;淀川正弘 申请(专利权)人: 日本电气硝子株式会社
主分类号: H01L27/14 分类号: H01L27/14;C03C3/091;C03C3/093
代理公司: 北京泛诚知识产权代理有限公司 代理人: 陈 波;杨本良
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种固体成像元件用覆盖玻璃及其制造方法,设在该覆盖玻璃的透光面的覆盖膜很难轻易地剥离,且该覆盖玻璃实现与基板的足够的粘结面积和粘结强度,并具有高机械强度和高光学性能,尤其安定的化学性能,且洁净度高。本发明的固体成像元件用覆盖玻璃10为无机氧化物玻璃制的薄板状,其特征在于,在厚度方向上相对的两个透光面11、12中的至少一个透光面具有覆盖膜C1、C2,覆盖玻璃10的外周端面由用激光切断的面13、14形成,覆盖膜C1、C2是在激光切断之前成膜。本发明的固体成像元件用覆盖玻璃10的制造方法,具有熔融玻璃原料混合物的工序、获得的熔融玻璃成型为平板玻璃G的工序、在该平板玻璃G的两个透光面11、12中的至少一个透光面形成覆盖膜C1、C2的成膜工序、向在两个透光面11、12中的至少一个透光面具有覆盖膜C1、C2的附带覆盖膜平板玻璃射出激光的射出工序、将射出工序后的平板玻璃分割成小片玻璃的工序。
搜索关键词: 固体 成像 元件 覆盖 玻璃 及其 制造 方法
【主权项】:
1、一种固体成像元件用覆盖玻璃,其是无机氧化物玻璃制的薄板状的固体成像元件用覆盖玻璃,其特征在于,在厚度方向相对的两个透光面中的至少一个透光面具有覆盖膜,所述覆盖玻璃的外周端面由用激光切断的面形成,所述覆盖膜是在激光切断之前形成的。
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