[发明专利]固体成像元件用覆盖玻璃及其制造方法有效
申请号: | 200780045536.3 | 申请日: | 2007-12-26 |
公开(公告)号: | CN101553926A | 公开(公告)日: | 2009-10-07 |
发明(设计)人: | 中堀宏亮;大川大介;淀川正弘 | 申请(专利权)人: | 日本电气硝子株式会社 |
主分类号: | H01L27/14 | 分类号: | H01L27/14;C03C3/091;C03C3/093 |
代理公司: | 北京泛诚知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈 波;杨本良 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种固体成像元件用覆盖玻璃及其制造方法,设在该覆盖玻璃的透光面的覆盖膜很难轻易地剥离,且该覆盖玻璃实现与基板的足够的粘结面积和粘结强度,并具有高机械强度和高光学性能,尤其安定的化学性能,且洁净度高。本发明的固体成像元件用覆盖玻璃10为无机氧化物玻璃制的薄板状,其特征在于,在厚度方向上相对的两个透光面11、12中的至少一个透光面具有覆盖膜C1、C2,覆盖玻璃10的外周端面由用激光切断的面13、14形成,覆盖膜C1、C2是在激光切断之前成膜。本发明的固体成像元件用覆盖玻璃10的制造方法,具有熔融玻璃原料混合物的工序、获得的熔融玻璃成型为平板玻璃G的工序、在该平板玻璃G的两个透光面11、12中的至少一个透光面形成覆盖膜C1、C2的成膜工序、向在两个透光面11、12中的至少一个透光面具有覆盖膜C1、C2的附带覆盖膜平板玻璃射出激光的射出工序、将射出工序后的平板玻璃分割成小片玻璃的工序。 | ||
搜索关键词: | 固体 成像 元件 覆盖 玻璃 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种固体成像元件用覆盖玻璃,其是无机氧化物玻璃制的薄板状的固体成像元件用覆盖玻璃,其特征在于,在厚度方向相对的两个透光面中的至少一个透光面具有覆盖膜,所述覆盖玻璃的外周端面由用激光切断的面形成,所述覆盖膜是在激光切断之前形成的。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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