[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法及印刷电路板的制造方法有效
申请号: | 200780046551.X | 申请日: | 2007-11-22 |
公开(公告)号: | CN101558356A | 公开(公告)日: | 2009-10-14 |
发明(设计)人: | 村松有纪子;宫坂昌宏;南川华子 | 申请(专利权)人: | 日立化成工业株式会社 |
主分类号: | G03F7/031 | 分类号: | G03F7/031;G03F7/004;G03F7/033 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 钟 晶 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种感光性树脂组合物,其含有:(A)具有下述通式(I)表示的二价基团、和下述通式(II)表示的二价基团和下述通式(III)表示的二价基团的粘合剂聚合物;(B)光聚合性化合物;及(C)包含具有一个以上碳原子数1~5的烷氧基的六芳基联咪唑化合物的光聚合引发剂。式(I)、式(II)及式(III)中,R1、R3及R5分别独立地表示氢原子或甲基,R2及R4分别独立地表示碳原子数1~3的烷基、烷氧基、羟基或卤原子,m或n分别独立地表示0~5的整数。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 元件 图案 形成 方法 印刷 电路板 制造 | ||
【主权项】:
1.一种感光性树脂组合物,其含有:(A)具有下述通式(I)表示的二价基团和下述通式(II)表示的二价基团和下述通式(III)表示的二价基团的粘合剂聚合物;(B)光聚合性化合物;以及(C)含有具有一个以上碳原子数1~5的烷氧基的六芳基联咪唑化合物的光聚合引发剂,[化1]
[化2]
[化3]
式(I)、式(II)及式(III)中,R1、R3及R5分别独立地表示氢原子或甲基,R2及R4分别独立地表示碳原子数1~3的烷基、碳原子数1~3的烷氧基、羟基或卤原子,m或n分别独立地表示0~5的整数,m或n为2~5时,多个R2或R4相互可以相同或不同。
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