[发明专利]探测检查装置、位置偏移修正方法、信息处理装置、信息处理方法及程序

摘要

即使是探针与电极焊盘多次接触的情况下，通过适当地修正探针接触位置的位置偏移，就能够使得探针总是保持最合适的接触位置。在探测检查装置(100)中，用CCD照相机(6)拍摄探针(8a)与芯片(30)的各焊盘(40)接触前图像(51)和接触后图像(52)，用图像处理用PC(10)提取两图像的差分图像(53)，算出每个焊盘(30)的该差分图像(53)中的最新的针痕(41b)的位置与目标位置的位置偏移量，根据该各位置偏移量算出探测卡(8)整体的修正量，使该修正量反映在下一检查对象芯片(30)的各焊盘(40)的检查中，来修正位置偏移。

主权项

1.一种探测检查装置，其使探针接触到被检查体的电极焊盘来检查上述被检查体的电特性，其特征在于，具有：拍摄单元，其分别拍摄上述探针与上述被检查体接触前的上述电极焊盘和上述探针接触后的上述电极焊盘；存储单元，其将上述拍摄的接触前的上述电极焊盘的图像作为第1图像存储，将上述拍摄的接触后的上述电极焊盘的图像作为第2图像存储；差分提取单元，其将上述存储的第1图像和上述第2图像的差分作为差分图像提取出来；计算单元，其计算用于对在上述所提取出的差分图像中出现的上述探针的针痕位置、与使上述探针在上述电极焊盘上应当接触的目标位置的位置偏移进行修正的修正量；及修正单元，其根据上述计算出的修正量改变上述被检查体与上述探针的相对位置来修正上述位置偏移。