[发明专利]再生装置以及再生方法

摘要

本发明提供一种再生装置以及再生方法。在清洗等处理中，在使用清洗液的同时，可以对使用过的清洗液进行再生，作为再生清洗液来再次使用。提供一种液体再生装置，其具备：对使用清洗液的处理装置的使用过的清洗液进行回收的回收单元；对回收的使用过的清洗液进行再生的再生单元；向所述处理装置供给所述再生清洗液的供给单元；以及控制所述回收单元、所述再生单元以及所述供给单元的控制单元。为了使所述处理装置和所述再生单元可以同时运转，还可以具备在它们之间供给使用过的清洗液以及所述再生清洗液的连接单元。

主权项

1.一种液体再生装置，其从处理装置回收对被处理部件进行清洗后的使用清洗液即使用过的清洗液，并对其进行再生，再次向处理装置供给再生清洗液即再生后的清洗液，该液体再生装置的特征在于，包含进行所述使用清洗液的回收、再生以及再生清洗液供给的第一以及第二机构，各机构包含：回收单元，与所述处理装置相连地设置，对所述使用清洗液进行回收；再生单元，与所述回收单元相连地设置，接收由该回收单元回收的所述使用清洗液并对其进行再生；贮存单元，与所述再生单元相连地设置，贮存由该再生单元再生后的再生清洗液；以及供给单元，与所述贮存单元以及所述处理装置相连地设置，向所述处理装置供给所述再生清洗液，在所述第一机构正在回收所述使用清洗液时，所述第二机构能够再生预先回收的使用清洗液。