[发明专利]激光清洁系统及其方法无效
| 申请号： | 200810000090.9 | 申请日： | 2008-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN101474626A | 公开（公告）日： | 2009-07-08 |
| 发明（设计）人： | 陈天青;杨家森;李宏德 | 申请（专利权）人： | 尚富煜科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;G05B19/04 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种激光清洁系统，应用于探针治具上探针污物的清除，包括有一辨识单元，一连结于该辨识单元的处理单元，以及至少一受到该处理单元驱动的激光产生单元。该辨识单元架设于该探针治具的相对应位置用以辨识该探针治具上至少一待清探针，并取得一对应该待清探针位置的辨识信号，该处理单元接收该辨识信号并产生一驱动信号，该激光产生单元受到该驱动信号的驱动以投射至少一激光于该待清探针。通过本发明的激光清洁系统，可以针对探针治具上特定待清探针使用激光投射的方式进行清洁，有效增加清洁的效率，减少不必要的激光能量的浪费，以及避免探针或周边结构的损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 清洁 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种激光清洁系统，应用于探针治具(10)上探针(11)污物的清除，其特征在于，包括有：辨识单元(20)，架设于所述探针治具(10)的相对应位置用以辨识所述探针治具(10)上至少待清探针(11)，并取得对应所述待清探针(11)位置的辨识信号；处理单元(30)，连接于所述辨识单元(20)用以接收所述辨识信号，并产生驱动信号；以及至少一激光产生单元(40)，受到所述驱动信号的驱动以投射至少一激光(41)于所述待清探针(11)。
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