[发明专利]具有晶粒置入通孔之晶圆级封装及其方法有效

专利信息
申请号: 200810000107.0 申请日: 2008-01-02
公开(公告)号: CN101221936A 公开(公告)日: 2008-07-16
发明(设计)人: 杨文焜 申请(专利权)人: 育霈科技股份有限公司
主分类号: H01L23/48 分类号: H01L23/48;H01L23/13;H01L21/50;H01L21/58;H01L21/60
代理公司: 北京挺立专利事务所 代理人: 叶树明
地址: 中国台湾新竹县湖*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明系揭露一种封装结构,包含具有晶粒置入通孔之基底、连接穿孔结构及第一接触垫。晶粒系配置于上述晶粒置入通孔之内,环绕层充填于晶粒与晶粒置入通孔侧壁间之间隙,及/或形成于晶粒之下表面。介电层形成于晶粒与基底之上,重布层(RDL)形成于介电层之上且耦合至第一接触垫。保护层形成于重布层(RDL)之上,以及第二接触垫形成于基底之下表面及连接穿孔结构之下。
搜索关键词: 具有 晶粒 置入 晶圆级 封装 及其 方法
【主权项】:
1.一种半导体装置封装结构,其特征在于:所述半导体装置封装结构,包含:一基底具有一晶粒置入通孔、一连接穿孔及一第一接触垫;一晶粒配置于该晶粒置入通孔之内;一环绕层充塡于该晶粒与该晶粒置入通孔侧壁间之间隙,及/或形成于该晶粒之下表面;一介电层形成于该晶粒与该基底之上;一重布层形成于该介电层之上且耦合至该第一接触垫;一保护层形成于该重布层之上;以及一第二接触垫形成于该基底之下表面及该连接穿孔结构之下。
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