[发明专利]液晶显示单元结构及其制造方法

摘要

本发明公开了一种液晶显示单元结构及其制造方法，该方法包含下列步骤：于一基板上形成一图案化第一金属层，其包含一第一数据导线段及一下栅极垫；形成一图案化介电层，以于该第一数据导线段上定义多个第一开口以及于该下栅极垫上定义一第二开口；形成一图案化第二金属层，其包含一共享电极线、一第二数据导线段及一上栅极垫，其中，该上栅极垫通过该第一开口与该下栅极垫呈电性连接，以及该第二数据导线段通过该些第一开口与该第一数据导线段呈电性连接；形成一图案化保护层；以及形成一图案化透明导电层。采用本发明，可避免寄生电容Cpd效应产生的问题，工艺简单、成本低。

主权项

1.一种制造一液晶显示单元结构的方法，其特征在于，包含：于一基板上形成一图案化第一金属层，其包含一栅极导线、一第一数据导线段及一下栅极垫；在该基板上依序形成一介电层、一半导体层及一光刻胶层；使用半调光掩膜进行微影程序；移除部分该光刻胶层，形成多个第一开口以曝露该第一数据导线段两端上方的该半导体层表面，及至少形成一第二开口以曝露该下栅极垫上方的该半导体层表面；移除该些第一开口及该第二开口内的该半导体层及/或其下的该介电层；移除部份该光刻胶层，使残余的该光刻胶层至少位于该栅极导线上方；移除未被该光刻胶层覆盖的该半导体层；移除剩余的该光刻胶层，以形成一图案化介电层及一图案化半导体层；形成一图案化第二金属层于该图案化介电层及该图案化半导体层上，其包含一共享电极线、一第二数据导线段及一上栅极垫，其中，该第二数据导线段通过该些第一开口与该第一数据导线段呈电性连接，该上栅极垫通过该第二开口与该下栅极垫呈电性连接；形成一图案化保护层；以及形成一图案化透明导电层。