[发明专利]缝隙涂敷方法及装置以及滤色片的制造方法无效
申请号: | 200810002969.7 | 申请日: | 2008-01-11 |
公开(公告)号: | CN101219423A | 公开(公告)日: | 2008-07-16 |
发明(设计)人: | 田中光利 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | B05D1/26 | 分类号: | B05D1/26;B05D7/24;B05C5/02;B05C11/10;B05C13/02;G03F7/00;G02B5/20 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 朱丹 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种缝隙涂敷方法,其是固定基板、使涂敷头行进的缝隙涂敷方法,其不受基板的表面状态的影响,即使以高涂敷速度,也可以在基板的表面均一且稳定地涂敷涂敷液。该缝隙涂敷方法是一种使涂敷液从涂敷头(22)的缝隙前端流出,在其与板状的平坦基板(16)表面之间的隙间形成涂敷液的焊道,且使涂敷头(22)行进,借助焊道,在基板(16)表面涂敷涂敷液的缝隙涂敷方法,其中,具备:将基板(16)嵌入并保持在工作台(14)上的凹部中,使基板(16)与工作台(14)的面成为同一平面的基板保持工序;使涂敷头(22)从基板(16)的一端侧向另一端侧行进,涂敷涂敷液,且利用与涂敷头(22)一体行进的减压腔(68),对焊道的涂敷头(22)行进方向前方进行减压的减压涂敷工序。 | ||
搜索关键词: | 缝隙 方法 装置 以及 滤色片 制造 | ||
【主权项】:
1.一种缝隙涂敷方法,其是使涂敷液从涂敷头的缝隙前端流出,在其与板状的平坦基板表面之间的隙间形成涂敷液的焊道,且使所述涂敷头行进,借助所述焊道,在所述基板表面涂敷涂敷液的缝隙涂敷方法,其特征在于,具备:基板保持工序,其将所述基板嵌入并保持在基板保持盘上的凹部中,以使所述基板与所述基板保持盘的面成为同一平面;减压涂敷工序,其使所述涂敷头从所述基板的一端侧向另一端侧行进,涂敷涂敷液,且利用与所述涂敷头一体行进的减压腔,对所述焊道的涂敷头行进方向前方进行减压。
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