[发明专利]主动元件阵列结构及其制造方法有效
申请号: | 200810003065.6 | 申请日: | 2008-01-18 |
公开(公告)号: | CN101217153A | 公开(公告)日: | 2008-07-09 |
发明(设计)人: | 游伟盛;方国龙;林祥麟;曾贤楷;林汉涂 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L23/522;H01L21/82;H01L21/768;G02F1/1362 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 杨俊波 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种主动元件阵列结构,配置于一基板上,其包括一第一图案化导体层、一图案化栅绝缘层、一图案化半导体层、一第二图案化导体层、一图案化平坦层与一透明导电层。图案化栅绝缘层具有暴露出部分第一图案化导体层的第一开口。图案化半导体层配置于图案化栅绝缘层上。第二图案化导体层配置于图案化半导体层上。图案化平坦层具有第二开口,以暴露出部分第一图案化导体层及部分第二图案化导体层。透明导电层全面地配置于基板上。配置于第一开口以及第二开口内的部分透明导电层在基板以及图案化平坦层之间断开。本发明的主动元件阵列结构,可应用于液晶显示面板中以提升液晶显示面板的显示开口率。本发明还提供了一种前述主动元件阵列结构的制造方法,能降低制作主动元件阵列结构时所需的工艺成本。 | ||
搜索关键词: | 主动 元件 阵列 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种主动元件阵列结构,配置于一基板上,其特征在于,该主动元件阵列结构包括:一第一图案化导体层,配置于该基板上,其包括多条扫描线以及与该些扫描线连接的多个栅极与多个扫描接垫;一图案化栅绝缘层,具有多个第一开口,以暴露出部分该第一图案化导体层;一图案化半导体层,配置于该图案化栅绝缘层上;一第二图案化导体层,直接配置于该图案化半导体层上,该第二图案化导体层包括多条数据线、多个漏极以及与该些数据线连接的多个源极与多个数据接垫,其中该些数据线与该些扫描线相交,而该些漏极与该些源极位于该些栅极上方;一图案化平坦层,该图案化平坦层具有多个第二开口,位于该些第一开口上方的该些第二开口暴露出该些第一开口所暴露出的部分该第一图案化导体层,而部分该些第二开口暴露出部分该第二图案化导体层;以及一透明导电层,全面地配置于该基板上,其中配置于该些第一开口以及该些第二开口内的部分该透明导电层在该基板以及该图案化平坦层之间断开。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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