[发明专利]半导体元件的测试方法与系统有效
| 申请号： | 200810003873.2 | 申请日： | 2008-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN101493494A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 李明聪 | 申请（专利权）人： | 京元电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明一种半导体元件的测试方法与系统，提供至少一半导体元件，而半导体元件上具有多个单元，每个单元皆有各自单元状态；接着进行半导体元件的测试，根据测试结果定义半导体元件的边界单元，边界单元状态与预先设定值进行比较，决定是否发出信息，用以提示操作人员可能有地图偏移的情形。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 元件 测试 方法 系统 | ||
【主权项】：
1、一种半导体元件的测试方法，该测试方法的特征包含：提供至少一个半导体元件，该半导体元件包含多个单元；测试该半导体元件上的该些单元；定义该半导体元件的边界单元，是根据该半导体元件的测试结果定义出该些边界单元；选择多个边界单元为标的单元；以及执行一比较判断，当该些标的单元的错误数量达到一预先设定值时，发出一信号。
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