[发明专利]环境参数测量方法及系统无效
申请号: | 200810042590.9 | 申请日: | 2008-09-05 |
公开(公告)号: | CN101666663A | 公开(公告)日: | 2010-03-10 |
发明(设计)人: | 王勇;张诚;吴建桦;侯大维;杨洪春;吕秋玲 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01D21/02 | 分类号: | G01D21/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 屈 蘅;李时云 |
地址: | 2012*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了环境参数测量方法及系统,以提高测量效率;该方法包括:获得需要测量环境参数的位置的位置信息;采集所述位置对应的环境参数值;以及存储所述位置信息和环境参数值信息的对应关系、位置信息及环境参数值信息。 | ||
搜索关键词: | 环境参数 测量方法 系统 | ||
【主权项】:
1、一种环境参数测量方法,其特征在于,包括:获得需要测量环境参数的位置的位置信息;采集所述位置对应的环境参数值;以及存储所述位置信息和环境参数值信息的对应关系、位置信息及环境参数值信息。
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