[发明专利]光刻机硅片承载台及其使用方法有效
| 申请号： | 200810043959.8 | 申请日： | 2008-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN101738869A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 宁开明 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻机硅片承载台，包括承载台基座、真空孔、应力感应器、连接器、硅片接送器；所述承载台基座上设有多个真空孔及硅片接送器；承载台基座底部设有连接器；所述承载台基座的表面设置多个应力感应器。所述应力感应器连接力电转换电路，力电转换电路的输出端与终端控制器连接，终端控制器连接动力马达。所述应力感应器通过感应硅片对其作用力的作用点、大小、方向等信息，实现伸缩，调节高度。本发明光刻机硅片承载台，通过调节与硅片接触的各应力感应器的高度，能够保证硅片的正面始终处于同一水平面上，避免因硅片背面存在颗粒等沾污引起的正面图形离焦现象，减少光刻返工的现象。本发明还公开了该光刻机硅片承载台的使用方法。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 硅片 承载 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种光刻机硅片承载台，包括承载台基座、真空孔、连接器、硅片接送器；所述承载台基座上设有多个真空孔及硅片接送器；承载台基座底部设有连接器；其特征在于：所述承载台基座的表面设置多个应力感应器。
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