[发明专利]一种铜键合丝光亮化热处理的保护装置有效
| 申请号： | 200810049151.0 | 申请日： | 2008-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN101492822A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 吕长江;吕长春 | 申请（专利权）人： | 济源优克电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F17/00 | 分类号： | C23F17/00;C22F1/08;C23G5/00 |
| 代理公司： | 郑州中原专利事务所有限公司 | 代理人： | 张君燕 |
| 地址： | 454600河南省济源市*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铜键合丝光亮化热处理的保护装置，包括有气室，气室上端设有与气室连通的排气管，气室的下端设有进气嘴和惰性气体进气管，所述气室内腔由隔板将其分隔为左气室和右气室，在左气室的侧壁上和隔板上设有同轴的穿线孔，其中左气室上设有与其连通的排气管，有气室上设有与其连通的排气管，在右气室上还设有与其相连通的氢气进气管，位于右气室的下端装有惰性气体进气嘴，惰性气体进气嘴上装有惰性气体进气管。本发明避免了热处理过程中易燃易爆气体H2的外泄，消除了安全隐患，并且能够起到铜键合丝的光亮化热处理效果，为高品质的铜键合丝材料提供了设备保障。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铜键合 丝光 热处理 保护装置 | ||
【主权项】：
1、一种铜键合丝光亮化热处理的保护装置，包括有气室，气室上端设有与气室连通的排气管，气室的下端设有进气嘴和惰性气体进气管，其特征是：所述气室内腔由隔板将其分隔为左气室和右气室，在左气室的侧壁上和隔板上设有同轴的穿线孔，其中左气室上设有与其连通的排气管，右气室上设有与其连通的排气管，在右气室上还设有与其相连通的氢气进气管，位于右气室的下端装有惰性气体进气嘴，惰性气体进气嘴上装有惰性气体进气管。
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