[发明专利]附加微量进气枪用于气体传感器在线测试的电子能谱仪无效
| 申请号： | 200810050890.1 | 申请日： | 2008-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN101315348A | 公开（公告）日： | 2008-12-03 |
| 发明（设计）人： | 李万程;牛忠国;刘凤敏;杜国同;张源涛 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01N27/64 | 分类号： | G01N27/64 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张景林;刘喜生 |
| 地址： | 130023吉林省*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明属于检测技术领域，具体涉及一种通过附加微量进气枪实现气体传感器及催化反应在线测试的电子能谱仪。其由真空反应室(20)、提供满足测试要求真空度的超高真空系统(21)、提供合适样品温度的变温样品台(22)、提供激发样品所需的合适粒子的激发源(23)、用于分辨不同能量光电子的能量分析器(24)、用于数据采集和分析的数据采集系统(25)和在真空反应室上附加的微量进气枪(26)组成。本发明提供了一种适合半导体气敏反应和催化反应的在线电子能谱分析方法，是半导体传感技术、催化技术与变温电子能谱技术的完美结合，既拓展了电子能谱的使用范围，又为研究半导体传感技术、催化技术的反应机理提供了新的研究方法。 | ||
| 搜索关键词： | 附加 微量 气枪 用于 气体 传感器 在线 测试 电子 能谱仪 | ||
【主权项】：
1、附加微量进气枪用于气体传感器在线测试的电子能谱仪，由真空反应室(20)、提供满足测试要求真空度的超高真空系统(21)、提供合适样品温度的变温样品台(22)、提供激发样品所需的合适粒子的激发源(23)、用于分辨不同能量光电子的能量分析器(24)、用于数据采集和分析的数据采集系统(25)组成，其特征在于：在真空反应室上还附加了微量进气枪(26)。
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