[发明专利]一种薄膜残余应力成分的分析装置

摘要

本发明公开了一种薄膜残余应力成分的分析装置。它包括继电器式温度控制仪、加热片驱动电路、基板夹具、干涉仪、计算机，继电器式温度控制仪依次与加热片驱动电路、基板夹具、干涉仪、计算机相连接，基板夹具包括第一铜片、第二铜片、铝片、铁夹片、样品固定圆孔、热电阻、MCH加热片，第一铜片背面固定有热电阻和两片MCH加热片，第一铜片两侧设有固定凹槽，第二铜片插入第一铜片两侧设有的固定凹槽内，第二铜片上端两侧固定有两片铁夹片，在两片铁夹片上夹有铝片，铝片上开有样品固定圆孔。本发明是一非破坏性检测方法，具有操作方便、量测迅速、精密度高、可同时测定多种参数和进行应力成分分析等优点。

主权项

1.一种薄膜残余应力成分的分析装置，其特征在于包括继电器式温度控制仪(1)、加热片驱动电路(2)、基板夹具(3)、干涉仪(4)、计算机(5)，继电器式温度控制仪(1)依次与加热片驱动电路(2)、基板夹具(3)、干涉仪(4)、计算机(5)相连接，基板夹具(3)包括第一铜片(6)、第二铜片(7)、铝片(8)、铁夹片(9)、样品固定圆孔(10)、热电阻(11)、MCH加热片(12)，第一铜片(6)背面固定有热电阻(11)和两片MCH加热片(12)，第一铜片(6)两侧设有固定凹槽，第二铜片(7)插入第一铜片(6)两侧设有的固定凹槽内，第二铜片(7)上端两侧固定有两片铁夹片(9)，在两片铁夹片(9)上夹有铝片(8)，铝片(8)上开有样品固定圆孔(10)。