[发明专利]一种碳纳米管阵列的生长方法有效
申请号: | 200810071868.5 | 申请日: | 2008-09-26 |
公开(公告)号: | CN101372327A | 公开(公告)日: | 2009-02-25 |
发明(设计)人: | 谢素原;马春印;林水潮;江智渊;黄荣彬;郑兰荪 | 申请(专利权)人: | 厦门大学 |
主分类号: | C01B31/02 | 分类号: | C01B31/02;C23C14/34;C23C14/06 |
代理公司: | 厦门南强之路专利事务所 | 代理人: | 马应森 |
地址: | 361005福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 一种碳纳米管阵列的生长方法,涉及一种碳纳米管,尤其是涉及一种低能耗、无炉生长超长碳纳米管阵列的方法。提供一种碳纳米管阵列的生长方法。提供一基底,在该基底上表面依次溅射一层缓冲层和一层催化剂层,得上表面溅射有一层缓冲层和一层催化剂的基底;将上表面溅射有一层缓冲层和一层催化剂的基底放在加热片上;启动微区加热控制电源,直接以加热片为加热装置对基底加热;通入载气和碳源气;关闭微区加热控制器电源,将基底取出,得到样品。 | ||
搜索关键词: | 一种 纳米 阵列 生长 方法 | ||
【主权项】:
1.一种碳纳米管阵列的生长方法,其特征在于包括以下步骤:1)提供一基底,在该基底上表面依次溅射一层缓冲层和一层催化剂层,得上表面溅射有一层缓冲层和一层催化剂的基底;2)将上表面溅射有一层缓冲层和一层催化剂的基底放在加热片上;3)启动微区加热控制电源,直接以加热片为加热装置对基底加热;4)通入载气和碳源气;5)关闭微区加热控制器电源,将基底取出,得到样品。
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