[发明专利]单晶硅制备炉石英埚增容加料装置无效
申请号: | 200810079251.8 | 申请日: | 2008-08-22 |
公开(公告)号: | CN101343775A | 公开(公告)日: | 2009-01-14 |
发明(设计)人: | 刘彬国;张学强;张呈沛;何景辉;刘军波 | 申请(专利权)人: | 宁晋晶兴电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/02 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 | 代理人: | 米文智 |
地址: | 055550*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明公开了一种单晶硅制备炉石英埚增容加料装置,属单晶炉配件技术领域;其结构包括,可放置在单晶炉导流筒内的筒状加料器,加料器顶端固定吊架,吊架中心连接吊绳、吊绳通过绳轮连接一重量可维持加料器直立的重锤;应用本产品,可在满足生产工艺的同时,最大限度的利用石英埚的容积,提高石英埚的利用价值,节约资源,提高产量,降低生产成本,加料器可反复利用。 | ||
搜索关键词: | 单晶硅 制备 石英 增容 加料 装置 | ||
【主权项】:
1、单晶硅制备炉石英埚增容加料装置,其特征在于:结构中包括,可放置在单晶炉导流筒内的筒状加料器,加料器顶端固定吊架,吊架中心连接吊绳,吊绳通过绳轮连接一重量可维持加料器直立的重锤。
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