[发明专利]喷头模组及采用该喷头模组形成薄膜图案层的方法无效
| 申请号： | 200810084329.5 | 申请日： | 2008-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN101434145A | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 翁锦钟 | 申请（专利权）人： | ICF科技有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/01 | 分类号： | B41J2/01;B41J2/145;B41J25/24;B41J29/38;G02B5/20 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周春发 |
| 地址： | 美国加州圣塔*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种喷头模组，用于在基板上形成薄膜图案层。该喷头模组包括分别具有若干喷嘴的第一喷头、第二喷头及第三喷头，用于固定该第一喷头、第二喷头及第三喷头的喷头座。该第二喷头固定于该喷头座的底部，该第一喷头及该第三喷头的一端枢固于该喷头座的底部。该喷头模组进一步包括平行调整机构及喷头位置调整机构，该平行调整机构驱动该第一喷头及该第三喷头的活动端，使其远离或靠近第二喷头。该喷头位置调整机构用于驱动该第一喷头及该第三喷头沿喷嘴的排列方向进行移动。 | ||
| 搜索关键词： | 喷头 模组 采用 形成 薄膜 图案 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种喷头模组，用于在基板上形成薄膜图案层，其包括：分别具有若干喷嘴的第一喷头、第二喷头及第三喷头，用于固定该第一喷头、第二喷头及第三喷头的喷头座，该第一喷头、第二喷头及第三喷头分别具有线性排列的喷嘴，其特征在于，该第二喷头固定于该喷头座的底部，该第一喷头及该第三喷头的一端枢固于该喷头座的底部，该喷头模组进一步包括平行调整机构及喷头位置调整机构，该平行调整机构驱动该第一喷头及该第三喷头的活动端，使其远离或靠近第二喷头，该喷头位置调整机构用于驱动该第一喷头及该第三喷头沿喷嘴的排列方向进行移动。
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