[发明专利]用于评定晶片边缘区域的缺陷的设备和方法及其使用无效
| 申请号： | 200810085580.3 | 申请日： | 2008-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN101285784A | 公开（公告）日： | 2008-10-15 |
| 发明（设计）人： | 安德鲁斯·布里克恩;迈克尔·霍夫曼;沃尔夫冈·沃尔莱斯 | 申请（专利权）人： | Vistec微系统有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 用于评定晶片边缘区域的缺陷的设备和方法及其使用。公开了一种用于评定该晶片(6)的边缘区域中的缺陷的设备。该评定可自动地执行。特别地，该设备包括三个照相机(25，26，27)，每个都设置有物镜(30)，其中，第一照相机(25)被布置成与该晶片(6)的上表面(6a)上的边缘区域相对，第二照相机(26)被布置成与该晶片(6)的前表面(6b)相对，第三照相机(27)被布置成与该晶片(6)的下表面(6c)上的边缘区域相对。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 评定 晶片 边缘 区域 缺陷 设备 方法 及其 使用 | ||
【主权项】：
1.一种用于评定晶片(6)的边缘区域(6a，6b，6c)中的缺陷的设备，其中，第一照相机(25)被布置成与所述晶片(6)的上边缘区域(6a)相对，第二照相机(26)被布置成与所述晶片(6)的前表面(6b)相对，第三照相机(27)被布置成与所述晶片(6)的下边缘区域(6c)相对，其中，每个照相机(25，26，27)具有用于获得图像的视场，其特征在于，设计至少一个照明装置(50，80)使得所述第一、第二和第三照相机(25，26，27)被布置在明视场配置中，以及所述晶片(6)可在各个用于获得所述缺陷的所述图像的照相机(25，26，27)的所述视场中定位。
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