[发明专利]基板热处理装置和喷嘴部件

摘要

本发明提供一种基板热处理装置和喷嘴部件，该装置可防止温度下降，并将所希望温度的热气体更恰当地供给到框体内。基板热处理装置(1A)具有环绕加热板(16)的框体(10)和热空气供给机构，该热空气供给机构具有设置在框体内的喷出喷嘴(20)，并沿着框体(10)的内部上面供给热空气的同时，通过设置在框体(10)的侧壁(13)上的排气口(22)对该热空气进行排气。热空气供给机构具有供给配管(30)和内部配管(31)，该供给配管(30)具备加热器(32)，该内部配管(31)通过框体(10)的侧壁(13)等的内部，将被加热的热空气供给到所述喷出喷嘴(20)中。

主权项

1.一种基板热处理装置，该基板热处理装置包括：框体，该框体的内底部设置有对基板施行热处理的基台；热气体供给机构，该热气体供给机构从外部将热气体供给到所述框体内，以便沿着该框体的顶棚壁形成热气体流，其特征在于，所述热气体供给机构具有：加热机构，该加热机构对气体进行加热从而生成所述热气体；供给流路，该供给流路将由所述加热机构加热过的所述热气体供给到框体内部，且所述供给流路的至少一部分设置在所述框体的隔壁内部。