[发明专利]液滴吐出头、液滴吐出装置以及电极基板的制造方法

摘要

本发明提供多喷嘴化的液滴吐出头、具备其的液滴吐出装置、电极基板制作方法。液滴吐出头减小液滴吐出用执行机构的驱动电路的时间常数，降低液滴吐出动作延迟。包括：喷嘴基板(5)，形成有多个吐出液滴的喷嘴孔(16)；腔基板(3)，形成有多个吐出室(12)，各个吐出室将底壁作为用作电极的振动板(11)，从喷嘴孔(16)吐出液滴；电极基板(2)，包括：多个单个电极(7)，形成于第一槽6a内与振动板(11)隔着间隔相对，驱动振动板(11)；驱动器IC(20)，控制单个电极(7)驱动；输入配线(25)，形成于第二槽6b内从外部输入驱动器IC(20)驱动用电力或信号，电极基板的第二槽6b形成比第一槽6a深，输入配线导体厚度厚于单个电极厚度。

主权项

1.一种液滴吐出头，其特征在于，包括：喷嘴基板，形成有多个用于吐出液滴的喷嘴孔；腔基板，形成有多个吐出室，各个所述吐出室将其底壁作为用作电极的振动板，从所述喷嘴孔吐出所述液滴；以及电极基板，包括：多个单个电极，形成于第一槽内且与所述振动板隔着间隔地相对，所述多个单个电极用于驱动各个所述振动板；驱动器IC，用于控制所述多个单个电极的驱动；以及输入配线，形成于第二槽内且用于从外部输入所述驱动器IC驱动用的电力或信号，其中，所述电极基板的所述第二槽形成得比所述第一槽深，所述输入配线的导体厚度厚于所述单个电极的厚度。