[发明专利]可动态变更测试流程的测试方法有效
| 申请号： | 200810090449.6 | 申请日： | 2008-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN101561474A | 公开（公告）日： | 2009-10-21 |
| 发明（设计）人： | 王宪旌;杨世礼 | 申请（专利权）人： | 京元电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01B21/00;B07C5/344 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿 宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种可动态变更测试流程的测试方法，可以对测试条件不同且测试流程不同的产品进行多点测试，用于测试一晶圆，该方法包括以下步骤：决定该晶圆每一坐标的晶粒的测试流程；以一多点测试执行测试；根据多点测试的各接触点的坐标，执行测试流程；以及产生测试结果与分类。本发明在同一晶圆上，可以测试多种测试条件与测试程序都不相同的晶粒、可以同时烧录多种只读记忆体码于同一片晶圆上、可以动态新增一测试步骤于原测试流程中，非常适于实用。 | ||
| 搜索关键词： | 动态 变更 测试 流程 方法 | ||
【主权项】：
1、一种可动态变更测试流程的测试方法，用于测试一晶圆，其特征在于该方法包括以下步骤：决定该晶圆每一座标的晶粒的测试流程；以一多点测试(multi-site)执行测试；根据多点测试的各接触点的座标，执行测试流程；以及产生测试结果与分类。
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