[发明专利]工厂自动化系统有效
| 申请号： | 200810091383.2 | 申请日： | 2008-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN101303596A | 公开（公告）日： | 2008-11-12 |
| 发明（设计）人： | 陈贤智;游志源 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H01L21/677 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种工厂自动化系统，其用以实现一半导体制造厂的跨不同自动物料处理系统的晶片传输，包括一主物料控制系统与一桥接器。该主物料控制系统可与一第一物料管制系统以及一第二物料管制系统相互通讯，其中该第一物料管制系统可与一第一供应商的一第一自动物料处理系统相互通讯，而该第二物料管制系统可与一第二供应商的一第二自动物料处理系统相互通讯。该桥接器连接于该第一与第二自动物料处理系统，其令晶片可在该第一与第二自动物料处理系统间传送。该主物料控制系统可与该第一与第二物料管制系统相互通讯，以控制该第一与第二自动物料处理系统以及该桥接器的跨厂晶片传送。 | ||
| 搜索关键词： | 工厂 自动化 系统 | ||
【主权项】：
1.一种工厂自动化系统，其用以实现一半导体制造厂的跨不同自动物料处理系统的晶片传输，包括：一主物料控制系统，其可与一第一物料管制系统以及一第二物料管制系统相互通讯，其中该第一物料管制系统可与一第一供应商的一第一自动物料处理系统相互通讯，而该第二物料管制系统可与一第二供应商的一第二自动物料处理系统相互通讯；以及一桥接器，连接于该第一与第二自动物料处理系统，其令晶片可在该第一与第二自动物料处理系统间传送；其中，该主物料控制系统可与该第一与第二物料管制系统相互通讯，以控制该第一与第二自动物料处理系统以及该桥接器的跨厂晶片传送。
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