[发明专利]基板传送机器人无效
| 申请号： | 200810094104.8 | 申请日： | 2008-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN101298143A | 公开（公告）日： | 2008-11-05 |
| 发明（设计）人： | 郑准模;金溶午;韩基灿 | 申请（专利权）人： | SFA股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;B25J15/06;B25J19/00;B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明为一种基板传送机器人，包括机器人主体、复数个悬臂以及张力施展部，其中悬臂的一端是连接至机器人本体，并用在支撑基板，且张力施展部至少连接至其中一个悬臂以及连接机器人本体，而张力施展部会对悬臂施加张力，又张力的方向与基板重量所施加的方向相反，以至少避免其中一个悬臂下垂。本发明可避免增加每个悬臂的厚度，并可避免悬臂因为基板重量而下垂形变。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 机器人 | ||
【主权项】：
1.一种基板传送机器人，其特征在于：其包括：一机器人本体；复数个悬臂，而所述的这些悬臂的一端连接至所述的机器人本体，且所述的这些悬臂支撑一基板；以及一张力施展部，其至少连接至其中一个所述的悬臂以及连接所述的机器人本体，而所述的张力施展部对所述的这些悬臂施加一张力，且所述的张力的方向与所述的基板重量方向相反，以至少避免其中一个悬臂下垂。
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