[发明专利]偏心检查装置及偏心调节装置

摘要

本发明提供一种用于评价光学系统的轴外光束的成像性能并调节光学元件的偏心的偏心调节装置。其具有：保持至少包含一个以上的相对于框(4)不固定的透镜(3)的被调节光学系统(15)的保持部(6)；隔着保持部(6)配置在一侧，出射平行光束的光源部(10)；隔着保持部(6)配置在一侧，检测来自被调节光学系统(15)的光的检测部件(1)；配置在光源部(10)和保持部(6)之间的基板(9)，基板(9)具有等间隔地位于同心圆的各个圆周上的4个以上的偶数个开口，该偏心调节装置还具有：在从基板(9)到保持部的光路中，将通过开口(13)的平行光束转换成轴外光束的光束转换单元；根据强度分布计算被调节光学系统(15)内的透镜(3)的偏心量的运算单元(12)；根据运算单元(12)计算出的偏心量调节框(4)和透镜(3)的相对位置关系的位置调节单元(14)。

主权项

1.一种偏心检查装置，其特征在于，该偏心检查装置具有：保持被检光学系统的保持部；隔着上述保持部配置在一侧，出射平行光束的光源部；隔着上述保持部配置在一侧，检测来自上述被检光学系统的光的检测单元；以及配置在上述光源部和上述保持部之间的基板，上述基板具有偶数个开口，4个以上的上述开口分别等间隔地位于一个圆的圆周上，或者，4个以上的上述开口分别等间隔地位于二个以上的同心圆的各个圆周上，上述偏心检查装置还具有：在从上述基板到上述保持部的光路中，将通过上述开口的平行光束转换成轴外光束的光束转换单元。