[发明专利]不良晶粒挑选机及其方法无效
| 申请号： | 200810097835.8 | 申请日： | 2008-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN101579856A | 公开（公告）日： | 2009-11-18 |
| 发明（设计）人： | 张介舟;刘景男 | 申请（专利权）人： | 旺硅科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J3/00 | 分类号： | B25J3/00;B25J15/06;B25J19/00;B07C5/34 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 | 代理人： | 申 健 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种不良晶粒挑选机及其方法。不良晶粒挑选机包含操作基座、拣选装置及排除装置。拣选装置包含吸嘴，以真空吸附方式将置于操作基座上的不良晶粒吸附，再通过排除装置移除不良晶粒。排除装置为非接触式，通过流体喷除方式排除，或为接触式，通过直接接触器与吸嘴相互接触方式排除不良晶粒。 | ||
| 搜索关键词： | 不良 晶粒 挑选 及其 方法 | ||
【主权项】：
1、一种不良晶粒挑选机，其特征在于，包含：一操作基座，用以置放晶粒；一拣选装置，包含一吸嘴，该吸嘴连接至一真空源，用以吸附置于该操作基座上的该晶粒中的不良晶粒；以及一非接触式排除装置，包含一喷管连接至一流体源，通过该流体源提供的流体喷除吸嘴上的不良晶粒。
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