[发明专利]LCD基板的制造方法无效
| 申请号： | 200810101546.0 | 申请日： | 2008-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN101526683A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 朴云峰 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;G03F7/00;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘 芳 |
| 地址： | 100176北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种LCD基板的制造方法，包括：将掩模板与基板贴合在一起；在完成前一步骤的基板上沉积薄膜；在完成前一步骤的基板上移开所述掩模板，在所述基板上形成薄膜图形。本发明提出了一种全新的薄膜工艺，将传统光刻工艺的清洗、沉积膜、曝光、显影、刻蚀和剥离等步骤简化为清洗、成膜、少量干刻等步骤，最大限度地简化了制造设备和工艺，缩短了工艺时间，提高了产能，有效避免了基板不良，同时节省了设备投资，降低了设备维护费用，最大限度地降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | lcd 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种LCD基板的制造方法，其特征在于，包括：步骤10、将掩模板与基板贴合在一起；步骤20、在完成步骤10的基板上沉积薄膜；步骤30、在完成步骤20的基板上移开所述掩模板，在所述基板上形成薄膜图形。
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