[发明专利]显影液控制系统有效
| 申请号： | 200810117130.8 | 申请日： | 2008-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN101634816A | 公开（公告）日： | 2010-01-27 |
| 发明（设计）人： | 黄福林;郑铁元;权训 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;H01L21/84;G05D11/13 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐乐慧;张 瑾 |
| 地址： | 100176北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种显影液控制系统，其包括有通过管道与显影液储槽单元连通的化学和水供应单元，用于检测所述显影液储槽单元内显影循环液中显影剂浓度与光刻胶浓度的显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元，在连通所述化学和水供应单元与所述显影液储槽单元之间的管道上增设有控制单元，所述控制单元分别通过管道及信号数据传输线与所述显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元连通，对所述显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元进行校准处理，并根据所述显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元反馈的信息控制所述化学和水供应单元向所述显影液储槽单元输入去离子水或/和浓纯显影液。具有实时监测与控制的功能，还具有校准功能，可以确保产品的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 控制系统 | ||
【主权项】：
1、一种显影液控制系统，包括有通过管道与显影液储槽单元(11)连通的化学和水供应单元(14)，及用于检测所述显影液储槽单元(11)内显影循环液中显影剂浓度与光刻胶浓度的显影剂浓度检测单元(13)、紫外吸光检测单元(12)，其特征在于，在连通所述化学和水供应单元(14)与所述显影液储槽单元(11)之间的管道上增设有控制单元(20)，所述控制单元(20)分别通过管道及信号数据传输线与所述显影剂浓度检测单元(13)、紫外吸光检测单元(12)连通，对所述显影剂浓度检测单元(13)、紫外吸光检测单元(12)进行校准处理，并根据所述显影剂浓度检测单元(13)、紫外吸光检测单元(12)反馈的信息控制所述化学和水供应单元(14)向所述显影液储槽单元(11)输入去离子水或/和浓纯显影液。
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