[发明专利]材料成膜装置、制备方法及其制备的有机电致发光器件有效
| 申请号： | 200810124031.2 | 申请日： | 2008-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN101591764A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 邱勇;张嵩;洪瑞;高裕弟 | 申请（专利权）人： | 昆山维信诺显示技术有限公司;清华大学;北京维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/14;H05B33/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种材料成膜装置，其包括蒸镀腔室，蒸镀腔室内设有蒸镀源及蒸镀基体放置机构；蒸镀源设有至少两个，蒸镀源至少一个为电阻加热蒸镀源，至少一个为电子束加热蒸镀源。本发明将蒸镀腔室内单一形式的蒸镀源，改变为多种蒸镀形式共同实现蒸镀，克服了现有技术单一蒸镀源的缺陷，特别在有机电致发光器件的膜层制备中，有效改善后续膜层制备中对有机层的破坏，大幅提高器件良率；同时，速率比单纯采用电阻加热蒸镀得到提高，并且，增加了膜层结合力。 | ||
| 搜索关键词： | 材料 装置 制备 方法 及其 有机 电致发光 器件 | ||
【主权项】：
1、一种材料成膜装置，包括蒸镀腔室，所述蒸镀腔室内设有蒸镀源及蒸镀基体放置机构；所述蒸镀源设有至少两个，其特征在于，所述蒸镀源至少一个为电阻加热蒸镀源，至少一个为电子束加热蒸镀源。
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