[发明专利]具有光波导层的线路板及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200810125926.8 申请日: 2008-06-11
公开(公告)号: CN101605428A 公开(公告)日: 2009-12-16
发明(设计)人: 张振铨 申请(专利权)人: 欣兴电子股份有限公司
主分类号: H05K3/00 分类号: H05K3/00;H05K3/46;G02B6/12
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 陶凤波
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开了一种具有光波导层的线路板及其制造方法。首先,在基板上依序形成绝缘层、金属层以及光波导层。接着,移除部分光波导层,以形成多个V型沟槽。这些V型沟槽的深度大于光波导层的厚度。在形成这些V型沟槽之后,移除基板,以裸露出绝缘层。接着,形成介电层与导电层于绝缘层上,而介电层位于导电层与绝缘层之间。接着,形成多个盲孔,而这些盲孔局部暴露金属层,且这些盲孔分别对应这些V型沟槽。接着,移除这些盲孔所局部暴露的部分金属层,以局部暴露光波导层。接着,图案化导电层,以形成线路层。
搜索关键词: 具有 波导 线路板 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种具有光波导层的线路板的制造方法,包括:在基板上依序形成绝缘层、金属层以及光波导层;移除部分该光波导层,以形成多个V型沟槽,其中这些V型沟槽的深度大于该光波导层的厚度;在形成这些V型沟槽之后,移除该基板,以裸露出该绝缘层;形成第一介电层与第一导电层于该绝缘层上,其中该第一介电层位于该第一导电层与该绝缘层之间;形成多个盲孔,其中这些盲孔局部暴露该金属层,且这些盲孔分别对应这些V型沟槽;移除这些盲孔所局部暴露的部分金属层,以局部暴露该光波导层;以及图案化该第一导电层,以形成第一线路层。
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