[发明专利]具有光波导层的线路板及其制造方法有效
申请号: | 200810125926.8 | 申请日: | 2008-06-11 |
公开(公告)号: | CN101605428A | 公开(公告)日: | 2009-12-16 |
发明(设计)人: | 张振铨 | 申请(专利权)人: | 欣兴电子股份有限公司 |
主分类号: | H05K3/00 | 分类号: | H05K3/00;H05K3/46;G02B6/12 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种具有光波导层的线路板及其制造方法。首先,在基板上依序形成绝缘层、金属层以及光波导层。接着,移除部分光波导层,以形成多个V型沟槽。这些V型沟槽的深度大于光波导层的厚度。在形成这些V型沟槽之后,移除基板,以裸露出绝缘层。接着,形成介电层与导电层于绝缘层上,而介电层位于导电层与绝缘层之间。接着,形成多个盲孔,而这些盲孔局部暴露金属层,且这些盲孔分别对应这些V型沟槽。接着,移除这些盲孔所局部暴露的部分金属层,以局部暴露光波导层。接着,图案化导电层,以形成线路层。 | ||
搜索关键词: | 具有 波导 线路板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种具有光波导层的线路板的制造方法,包括:在基板上依序形成绝缘层、金属层以及光波导层;移除部分该光波导层,以形成多个V型沟槽,其中这些V型沟槽的深度大于该光波导层的厚度;在形成这些V型沟槽之后,移除该基板,以裸露出该绝缘层;形成第一介电层与第一导电层于该绝缘层上,其中该第一介电层位于该第一导电层与该绝缘层之间;形成多个盲孔,其中这些盲孔局部暴露该金属层,且这些盲孔分别对应这些V型沟槽;移除这些盲孔所局部暴露的部分金属层,以局部暴露该光波导层;以及图案化该第一导电层,以形成第一线路层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于欣兴电子股份有限公司,未经欣兴电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200810125926.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:加捻方法和纱线筒子
- 下一篇:移动终端的消费方法、装置及系统