[发明专利]用于沉积多组分金属氧化物薄膜的第2族金属前体

摘要

本发明涉及用于沉积多组分金属氧化物薄膜的第2族金属前体。已经合成并表征了新的含有β－二酮化物和N－甲基－吡咯烷酮结构的Sr和钡络合物。TGA实验表明这些络合物是易变的，它们可以在半导体制造中用作ALD钛酸锶(STO)或者钛酸锶钡薄膜(BST)的潜在前体。

主权项

1.一种含金属的络合物，其由选自下列基团组成的结构表示：其中M选自Mg、Ca、Sr和Ba；R¹和R³独立地选自由具有1至10个碳原子的直链或支链的烷基、烷氧基烷基、氟烷基、具有4至12个碳原子的环脂基和芳基组成的组；R²选自由氢、具有1至10个碳原子的直链或支链的烷基、氟烷基、烷氧基、具有4至12个碳原子的环脂基和芳基组成的组；L₁选自由有机酰胺类RCONR′R″组成的组，其中R和R′是直链或支链的具有1至10个碳原子的烷基，并且它们可以相连而形成环状基团(CH₂)_q，其中q为4-6，R″选自具有1至4个碳原子的烷基和具有4至8个碳原子的环烷基；L₂选自由有机酰胺类RCONR′R″组成的组，其中R和R′独立地是直链或支链的具有1至10个碳原子的烷基，并且它们可以相连而形成环状基团(CH₂)_q，其中q为4-6；n是选自在1和4之间的数值；m选自在0和4之间的数值，p选自1和2；其中M选自Mg、Ca、Sr和Ba；R¹和R⁴独立地选自由具有1至10个碳原子的直链或支链的烷基、烷氧基烷基、氟烷基、具有4至12个碳原子的环脂基和芳基组成的组；R²和R³选自由氢、具有1至10个碳原子的直链或支链的烷基、烷氧基烷基、氟烷基、烷氧基、具有4至12个碳原子的环脂基和芳基组成的组；L选自由有机酰胺类RCONR′R″组成的组，其中R和R′独立地是直链或支链的具有1至10个碳原子的烷基，并且它们可以相连而形成环状基团(CH₂)_q，其中q为4-6，R″选自具有1至4个碳原子的烷基和具有4至8个碳原子的环烷基；n是选自在0和4之间的数值；m选自在1和4之间的数值，p选自1和2；当p＝2时，μ-L指示L经由μL的氧原子与两个金属M相连；和其中M选自Mg、Ca、Sr和Ba；R¹和R³独立地选自由具有1至10个碳原子的直链或支链的烷基、烷氧基烷基、氟烷基、具有4至12个碳原子的环脂基和芳基组成的组；R²选自由氢、具有1至10个碳原子的直链或支链的烷基、氟烷基、烷氧基、具有4至12个碳原子的环脂基和芳基组成的组；L选自由有机酰胺类RCONR′R″组成的组，其中R和R′独立地是直链或支链的具有1至10个碳原子的烷基，并且它们可以相连而形成环状基团(CH₂)_q，其中q为4-6，R″选自具有1至4个碳原子的烷基和具有4至8个碳原子的环烷基；n是选自在0和4之间的数值；m选自在1和4之间的数值，p选自1和2；当p＝2时，μ-L指示L经由μL的氧原子与两个金属M相连。