[发明专利]制造薄膜晶体管基板的方法和用在该基板中的感光组合物

摘要

本发明涉及制造薄膜晶体管基板的方法和用在该基板中的感光组合物。公开了一种制造具有高的感光度、耐热性、抗冲击性的薄膜晶体管基板的方法以及为其所用的感光组合物，该方法包括在绝缘基板上形成数据线路，通过涂布感光组合物而在数据线路上形成有机绝缘膜，该感光组合物包含三元共聚物，其中该三元共聚物得自以下单体：不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其混合物，不饱和的含有环氧基团的化合物、以及烯属化合物。

主权项

1.一种制造薄膜晶体管基板的方法，该方法包括：在绝缘基板上形成数据线路；通过涂布感光组合物而在该数据线路上形成有机绝缘膜，其中该感光组合物包含三元共聚物、基于100重量份该三元共聚物的约5-约100重量份的正型感光剂、基于100重量份该三元共聚物的约5-约20重量份的增塑剂、以及基于100重量份该感光组合物的约50-约90重量份的溶剂，其中该三元共聚物得自不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其混合物，以及不饱和的含有环氧基团的化合物和烯属化合物；在该有机绝缘膜中图案化接触孔；和在该有机绝缘膜中形成像素电极，该像素电极通过该接触孔与该数据线路电连接。