[发明专利]一种显影液供给管路有效
| 申请号： | 200810144417.X | 申请日： | 2008-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN101639633A | 公开（公告）日： | 2010-02-03 |
| 发明（设计）人： | 鲁旭光;胡清强;陈晓琪 | 申请（专利权）人： | 和舰科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 屈小春 |
| 地址： | 215025江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种显影液供给管路，包括显影液管路、位于显影液管路前端的显影液喷嘴，以及与显影液管路相并联的去离子水管路，该去离子水管路通过安装到显影液管路的控制阀门连接到显影液管路。采用本发明的结构可以使存在于喷嘴内的结晶物排出，及清洁管路内的沉积物，从而降低显影不良的机会。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影液 供给 管路 | ||
【主权项】：
1.一种显影液供给管路，包括显影液管路、位于显影液管路前端的显影液喷嘴，其特征在于，还包括与显影液管路相并联的去离子水管路，该去离子水管路通过安装到显影液管路的控制阀门连接到显影液管路。
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