[发明专利]减压干燥装置有效
| 申请号： | 200810146138.7 | 申请日： | 2008-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN101363681A | 公开（公告）日： | 2009-02-11 |
| 发明（设计）人： | 奥田大辅 | 申请（专利权）人： | 东丽工程株式会社 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B5/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够通过抑制腔盖部的焊接部分的剥离等的产生来抑制生产不合格基板的减压干燥装置。所述减压干燥装置具备相对于基板载置部可相对地接触分离的腔盖部，通过在由该基板载置部和腔盖部形成的基板收纳部内，收纳有涂敷了涂敷液的基板的状态下使上述基板收纳部内减压，从而使上述涂敷液干燥，上述腔盖部与上述基板载置部面对，并且具有具备4个边缘部的四边形状，在与基板载置部侧相反一侧的外表面上，以在与相邻边缘部交叉的方向上延伸的方式焊接加强肋。 | ||
| 搜索关键词： | 减压 干燥 装置 | ||
【主权项】：
1.一种减压干燥装置，具备载置基板的基板载置部、和相对于该基板载置部可相对地接触分离的腔盖部，通过在由该基板载置部和腔盖部形成的基板收纳部内，收纳有涂敷了涂敷液的基板的状态下使上述基板收纳部内减压，从而使上述涂敷液干燥，其特征在于，上述腔盖部与上述基板载置部面对，并且具有具备4个边缘部的四边形状，在与基板载置部侧相反一侧的外表面上，接合有在与相邻的边缘部交叉的方向上延伸的加强肋。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东丽工程株式会社，未经东丽工程株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810146138.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种中空纤维素碳纤维的制备方法
- 下一篇：软性多触控点面板
