[发明专利]多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的方法有效
| 申请号： | 200810147642.9 | 申请日： | 2008-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN101417802A | 公开（公告）日： | 2009-04-29 |
| 发明（设计）人： | 戴自忠;易忠海 | 申请（专利权）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C30B29/06;C30B28/14 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所（普通合伙） | 代理人： | 方 强 |
| 地址： | 614800四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的方法，对于作为原料的精馏系统产品液态氯硅烷和回收系统产品气态氢气，其特征在于：将液态氯硅烷通过蒸汽进行加热，加热后，液态氯硅烷变成气态氯硅烷，然后气态氯硅烷与氢气在静态混合器中混合，最后混合的氯硅烷和氢气进入氢还原炉进行下一步反应；本方法通过产品汽化器将液态氯硅烷加热变成气态，非常方便输送到静态汽化器中进行混合，而且在静态汽化器中混合比较安全；同时，通过调节阀、不同的流量计来控制氢气和氯硅烷的流量，所以非常容易控制氯硅烷、氢气的混合比例，还可以将氢气和氯硅烷的比例准确控制，控制直观、简单，主控人员容易驾驭。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 中的 硅烷 氢气 混合 方法 | ||
【主权项】：
1、多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的方法，对于作为原料的精馏系统产品液态氯硅烷和回收系统产品气态氢气，其特征在于：将液态氯硅烷通过蒸汽进行加热，加热后，液态氯硅烷变成气态氯硅烷，然后气态氯硅烷与氢气在静态混合器中混合，最后混合的氯硅烷和氢气进入氢还原炉进行下一步反应。
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