[发明专利]磁导引装置

摘要

本发明的磁导引装置，对磁导引装置的磁力进行控制的控制装置设置信号校正运算器(31)。该信号校正运算器(31)判定2个间隙传感器的检测信号(Ga、Gb)的变化量，根据该变化量使加权系数(α、β)相对变化。该加权系数(α、β)与检测信号(Ga、Gb)相乘后，输出其相加得到的信号(Gc)。通过将该输出信号(Gc)用于磁控制，即便是传感器信号因导轨的形状等而产生扰动，仍能进行始终稳定的磁控制以非接触方式对移动体进行引导运行。

主权项

1. 一种磁导引装置，其特征在于，包括：由铁磁性体形成的导轨(2)；沿该导轨(2)移动的移动体(4)；设置于该移动体(4)的与所述导轨(2)相向的相向部，利用磁力的作用相对于所述导轨(2)以非接触方式支承所述移动体(4)的磁铁单元(6)；在所述移动体(4)的移动方向上保持规定的间隔配置，检测所述磁铁单元(6)和所述导轨(2)两者间空隙的至少两个间隙传感器(7a、7b)；判定这些间隙传感器(7a、7b)输出的检测信号的变化量，根据该变化量使对于所述各检测信号的加权系数相对变化，将乘以所述加权系数的所述各检测信号相加得到的信号作为磁控制用信号来输出的信号校正部(31)；以及根据该信号校正部(31)输出的磁控制用信号，控制所述磁铁单元(6)的磁力的控制部(21)。