[发明专利]无背极板的硅传声器

摘要

本发明披露了一种硅基传声器传感元件及其制造方法。该传声器传感元件具有每边或角上邻接多孔板的膜片。膜片被置于导电衬底中形成的一个或者多个背孔上方，其中背孔具有小于膜片的宽度。多孔板悬于衬底上面的气隙上方。膜片由机械弹簧支撑，机械弹簧具有两个末端，连接到多孔板的角、边、或者中心并且终止于固定在电介质空间层上的刚性衬垫。第一电极形成于一个或者多个刚性衬垫上，而第二电极形成于衬底上的一处或者多处，从而来建立可变电容电路。这种传声器传感元件可以以不同方法实施以减小寄生电容。

主权项

1. 一种无专用背极板部件的传声器传感元件，其特征在于，所述传声器传感元件包括：(a)具有正面和背面并且其中形成有背孔的衬底；(b)形成于衬底正面上具有第一厚度的电介质间隔层；(c)排列在所述背孔上方具有第二厚度的膜片；(d)与所述膜片邻接具有第二厚度的多个多孔板，所述多孔板和膜片悬于在所述衬底上具有第一厚度的气隙上；(e)形成于所述电介质间隔层上具有第二厚度的多个刚性衬垫；(f)连接到所述膜片的多个机械弹簧，其中每个机械弹簧具有第二厚度并具有两端，其中一端连接到所述膜片，另一端连接到所述刚性衬垫中的一个；和(g)形成于一个或多个所述刚性衬垫上的第一电极，和形成于衬底上的一个或者多个第二电极，其中当所述膜片、所述多孔板和所述机械弹簧响应声音信号垂直于所述衬底上下振动时，第一电极和第二电极形成可变电容电路。