[发明专利]闸阀以及使用该闸阀的基板处理装置

摘要

本发明提供一种闸阀及使用该闸阀的基板处理装置，其能够在没有致动器的工作力的情况下，将阀体保持在按压于基板搬出搬入口的状态。闸阀(200)构成为通过凸轮机构(260)使阀体(210)进退来开闭基板搬出搬入口(112)。凸轮机构例如具有：在与阀体的进退方向垂直的方向上自由滑动的长条部件(261)、与从框体的背板支撑长条部件的支撑辊(290)相对地设置在阀体(210)上的阀体驱动用辊(280)、设于长条部件的阀体驱动用辊侧的板状凸轮(270)，使长条部件向一个方向滑动而向经由阀体驱动用辊来关闭阀体的方向上前进，在按压地闭塞基板搬出搬入口的位置上，使从基板搬出搬入口侧反压的力作用在长条部件，从而将阀体保持在闭塞位置上。

主权项

1.一种闸阀，其用于开闭设于腔室的侧壁上的基板搬出搬入口，其特征在于，包括：以包围所述基板搬出搬入口的方式设置在所述腔室的侧壁上的框体；升降自由地设置在所述框体内并开闭所述基板搬出搬入口的阀体；在与所述基板搬出搬入口相对的位置和从所述基板搬出搬入口退避的位置之间使所述阀体升降的升降驱动机构；和在与所述基板搬出搬入口相对的位置和按压地闭塞所述基板搬出搬入口的位置之间使所述阀体进退的由凸轮机构构成的开闭驱动机构，所述凸轮机构具有：长条部件，其沿所述阀体的整个长度方向配置在所述阀体的背面侧并自由可动地支撑在所述框体上；和凸轮，其伴随所述长条部件的动作而按压驱动所述阀体，并通过使从所述基板搬出搬入口侧反压所述阀体的力作用在所述长条部件，在所述闭塞位置按压保持所述阀体。