[发明专利]基板模块、基板模块的制造方法及电子机器无效
申请号: | 200810169192.3 | 申请日: | 2008-11-04 |
公开(公告)号: | CN101515592A | 公开(公告)日: | 2009-08-26 |
发明(设计)人: | 中野高宏;南尾匡纪;富田佳宏;佐野光 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H01L23/488;H01L23/31;H01L21/60 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汪惠民 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明公开了一种基板模块、一种基板模块的制造方法及一种电子机器。在基板模块(1)中,连接电极(4)设置在基板(2)的第一表面(2a)上,第一贯通孔部(5)沿基板(2)的厚度方向贯通该基板(2)而到达连接电极(4)的背面,在第一贯通孔部(5)的内部设置有贯通电极(6)。贯通电极(6)在与连接电极(4)的背面相向的部分具有凹部(6a),贯通电极(6)的上部比贯通电极(6)的侧部厚。在基板(2)的第二表面(2b)上也设置有贯通电极(6),该贯通电极(6)在第二表面(2b)上连接在布线电极(7)上。因此,在基板模块的制造工序中没有造成绝缘层的剥离以及连接电极的破损及剥离之虞。 | ||
搜索关键词: | 模块 制造 方法 电子 机器 | ||
【主权项】:
1.一种基板模块,包括基板,设置在所述基板的第一表面上或所述基板的内部的电子部件,连接在所述电子部件上并且设置在所述基板的所述第一表面上的连接电极,沿所述基板的厚度方向贯通该基板而到达所述连接电极的背面的第一贯通孔部,设置在所述第一贯通孔部的内部并且从所述第一贯通孔部的内部向所述基板的第二表面上延伸而设的贯通电极,以及设置在所述基板的所述第二表面上并且在所述基板的所述第二表面上与所述贯通电极连接的布线电极,其特征在于:在所述第一贯通孔部的内部,所述贯通电极设置为:在与所述连接电极的所述背面相向的部分具有凹部,位于所述连接电极的所述背面上的部分比位于所述第一贯通孔部的侧面上的部分厚。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的