[发明专利]磁力驱动构件、基板传送单元及基板处理装置无效
| 申请号： | 200810172081.8 | 申请日： | 2008-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN101436561A | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 林宪燮;金炯拜;姜一圭;柳承洙 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;B65G49/07;B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 李雪春;武玉琴 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种采用直接驱动方式、能够简化驱动机构的结构并能更稳定地传送基板的磁力驱动构件，以及利用该磁力驱动构件的基板传送单元和具有该基板传送单元的基板处理装置。所述传送基板的基板传送单元包括：轴，相互并排配置，用于传送基板；第一磁力构件，设置在所述轴的一端上；第二磁力构件，与所述第一磁力构件相对设置，并进行磁耦合，而且沿其圆周面形成多个突出部；动力传递构件，通过与在所述第二磁力构件中相邻的任意两个所述第二磁力构件上形成的所述突出部的啮合，在所述第二磁力构件之间传递转动力；以及驱动构件，向任意一个所述第二磁力构件提供转动力。 | ||
| 搜索关键词： | 磁力 驱动 构件 传送 单元 处理 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种传送基板的基板传送单元，其特征在于包括：轴，相互并排配置，用于传送基板；第一磁力构件，设置在所述轴的一端上；第二磁力构件，与所述第一磁力构件相对设置，并进行磁耦合，而且沿其圆周面具有多个突出部；动力传递构件，通过与在所述第二磁力构件中相邻的任意两个所述第二磁力构件上形成的所述突出部的啮合，在所述第二磁力构件之间传递转动力；以及驱动构件，向任意一个所述第二磁力构件提供转动力。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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